由浙江晶盛机电股份有限公司（以下简称“公司”）承担的“8 英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”（以下简称“该课题”），近日顺利通过国家 02 专项验收专家组的正式验收。

    该课题是由天津市环欧半导体材料技术有限公司承担的“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项（简称“02 专项”）“区熔硅单晶片产业化技术与国产设备研制”项目下的课题之一。 

    专家组经过实地检查、现场测试、资料审查、内部验收及验收前的现场复查等相关验收工作后，对课题完成情况作出了总体评价意见：“课题组完成了任务合同书规定的研发内容。研制出 8 英寸区熔硅单晶炉，各项技术指标、经济指标、知识产权指标、人才队伍建设指标及平台建设指标均达到任务合同书的考核要求。提供的验收资料齐全。任务验收专家组同意课题通过验收。”

    截至目前，通过该课题的实施，已在公司生产的区熔硅单晶炉上成功拉制出国内首根 8 英寸区熔硅单晶棒，验证了公司自主研制的区熔硅单晶炉技术取得了突破性进展，相关设备获得了 26 项国家专利，其中炉内晶体剪除机构、多 CCD成像和辅助加热等技术为国际首创，课题产品已成功产业化并形成销售，取得了良好的社会、经济效益，产业化前景优势明显。

    该课题的实施，有效地打破了国外大直径区熔硅单晶炉的技术垄断，缩小了我国区熔单晶硅材料制造技术与国际先进水平的差距，体现了公司的研发实力，有利于公司立足晶体生长与智能化加工装备的主业，推动“新材料、新装备”发展战略全面实施。